工作臺

金屬臺尺寸

400/300

450/320

550/450

方形玻璃臺面尺寸（mm）

300/200

330/250

430/330

X、Y坐標行程（mm）

250/150

300/200

400/300

儀器重量（kg）

180

210

320

外形尺寸長/寬/高（mm）

550/650/950

600/750/950

700/900/950

坐標升降行程（mm）：175（調(diào)焦）    工作距離（mm）：90

X/Y/數(shù)顯解析度：0.0005mm（0.5um）

XY坐標示值誤差≤(3+L/75)um（L為被測長度，單位：mm）

影像系統(tǒng)

影像機：彩色1/3" CCD攝像機（索尼芯片540線高分辨率工業(yè)攝像機）

變焦物鏡倍率0.7-4.5X（定格變焦，無需每次校準）；視頻總倍數(shù)：30-230X倍

物方視場：7-1.1mm（物方視場為對角線的長度）；傳動形式：XY軸均采用滾動絲杠傳動

XY馬達速度：最高50MM/SEC ；控制系統(tǒng):全自動閉環(huán)控制系統(tǒng)，3軸DC伺服閉環(huán)控制系統(tǒng)

照明

程控可調(diào)LED表面光和底光（使用安全電壓）

伺服電機

電源

220V

淵量軟

VMS測量軟體，可淵線、角、圓、隋圓、圓心距、角度、高度、平面距、球等，自動輸出WORD/CAD